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产品描述
二维图
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型号
02TM522(L)
调整维数
五维
驱动方式
测微头、微调螺纹副
驱动位置
中心
导轨
线性导轨+滚柱
三维平移行程
13mm
旋转和俯仰范围
±5°
刻度
0.01mm
精度
0.001mm
直线度
0.003mm(单轴)
摆动误差
<20″
自重
2.1kg
负载
25kg