型号

02TM522(L)

调整维数

五维

驱动方式

测微头、微调螺纹副

驱动位置

中心

导轨

线性导轨+滚柱

三维平移行程

13mm

旋转和俯仰范围

±5°

刻度

0.01mm

精度

0.001mm

直线度

0.003mm（单轴）

摆动误差

<20″

自重

2.1kg

负载

25kg