型号
06FP601(06FP601L)
调整维数
六维
驱动方式
测微头
平移调整范围
TxTyTz粗调
±6.5mm
TxTyTz微调
±0.3mm
TxTyTz精度
上下偏摆
20″
左右偏摆
10″
俯仰调整范围
Θx调节
±5.5º
Θy调节
±2.5º
Θz调节
ΘxΘyΘz精度