型号
02TM222(L)
02TM312(L)
02TM322(L)
调整维数
XY
XYZ
驱动方式
微调螺纹副
测微头
驱动位置
中心
导轨
V型导轨+交叉滚柱
行程
25mm
刻度
---
0.01mm
精度
0.001mm
直线度
0.002mm(单轴)
摆动误差
<20″
自重
1.15kg
1.65kg
1.7kg
负载
10kg
5kg