隔振平台的结构特点

　　大家都知道的是振动其实是一种能量，它以振动波的形式传递的，具有一定的频率。隔振平台在运行时也有一个频段，当这两个频段重合时，我们称之为振动和不稳定性。通常的振动信号频率进行一般来说都是一个高频，可在50-100HZ的范围内，而细微隔振就是我们通过隔振装置能够达到衰减、吸收客观的环境下的振动的能量，降低振动的频率，能够将它的频率降低到10HZ以下，非常好的隔振可以降低到5HZ。

　　隔振平台的设计目的是将超精密仪器与来自建筑物地板的频率低于1Hz的振动隔离开来。在理想状态下这个仪器可以应用到光学电子显微镜、扫描探针显微镜（SPM）及计量分析仪器的领域中去。主动的隔振功能的系统，可以很容易地选择和设置三个增益中的一个，以实现适合当前环境的性能。

　　隔振平台发展主要问题还是包含了这五个组成一个部分：隔振台面、减振单元、支撑腿、安全生产装置、可调设备地脚。核心部件是减振装置和工作台。

　　隔振平台的工作就是台面按材质进行大体分两大类：大理石作为台面和不锈钢操作台面。00级工作面一般采用大理石台面，不锈钢台面的水平误差不大于0.02mm，均以确保设备水平的技术要求为依据。

　　隔振平台的减振单元设计主要通过使用气浮减振器（空气质量弹簧作用减振器）。