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发布日期：2013-01-05　　　 文字大小：大中小

该机构三大部分：下基座微调台、上基座微调台和CCD调整机构。

其中下基座微调台机构包括：±2mm x轴微动台，±2mm y轴微动台，±5°绕z轴转动台；

上基座包括：0~50mm、带数显光栅尺(长度分辨率为1μm)的 z轴微动台；

CCD调整机构包括两套独立的三轴调节机构，实现±10mm的z轴位移、±10μm的x 轴位移，±10μm的y轴位移。

设备技术参数：

序号	名称	产品规格
1	X轴微动台	±2mm
2	Y轴微动工作台	±2mm
3	z轴微动工作台	整体量程：0-50mm，在0~3mm范围内能够实现局部微调，分辨率为1μm
4	thet轴微动工作台	±5°
5	上基座支撑板	246×132×100(10mm厚）
6	下基座支撑板	304×308×15
7	CCD支撑板	z轴向微调：±10mm
8		x轴向微调：±10mm
9		y轴向微调：±10mm
10	支撑立柱	Φ20×280mm
11	支撑底板	480×700×10
12	数显光栅尺	JCXE1-100（精度：1μm行程：100mm）

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