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可调微动工作台机构
该机构三大部分：下基座微调台、上基座微调台和CCD调整机构。
其中下基座微调台机构包括：±2mm x轴微动台，±2mm y轴微动台，±5°绕z轴转动台；
上基座包括：0~50mm、带数显光栅尺(长度分辨率为1μm)的 z轴微动台；
CCD调整机构包括两套独立的三轴调节机构，实现±10mm的z轴位移、±10μm的x 轴位 移，±10μm的y轴位移。
设备技术参数：
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序 号 |
名 称 |
产品规格 |
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1 |
X轴微动台 |
±2mm |
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2 |
Y轴微动工作台 |
±2mm |
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3 |
z轴微动工作台 |
整体量程：0-50mm，在0~3mm范围内能够实现局部微调，分辨率为1μm |
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4 |
thet轴微动工作台 |
±5° |
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5 |
上基座支撑板 |
246×132×100(10mm厚） |
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6 |
下基座支撑板 |
304×308×15 |
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7 |
CCD支撑板 |
z轴向微调：±10mm |
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8 |
x轴向微调：±10mm |
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9 |
y轴向微调：±10mm |
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10 |
支撑立柱 |
Φ20×280mm |
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11 |
支撑底板 |
480×700×10 |
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12 |
数显光栅尺 |
JCXE1-100（ 精度：1μm行程：100mm） |
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